芯片半导体专用HMDS蒸镀真空烤箱

全功能整合式LCD TOUCH PANEL控制系統(WITH PLC CONTROL)
到達真空度:低於1 Torr，溫度:MAX.200℃
智慧型程式輸入功能，可供user依不同製程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。
程式自動監測並檢知設定運轉狀態,完善的連環式保安設施,絕無安全顧慮
HMDS密閉式自動吸取添加設計。
10組程式記憶及自我診斷,故障顯示及排除指示功能
單獨烤箱密閉性測試功能，確保HMDS無外漏顧慮。